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檢測執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)信息一覽：
標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了應(yīng)用掃描表面檢查系統(tǒng)(SSIS)對硅拋光片表面顆粒進行測試、計數(shù)和報告的程序。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅拋光片，也可適用于硅外延片或其他鏡面拋光片(如化合物拋光片)。本標(biāo)準(zhǔn)也適用于觀測硅拋光片表面的劃痕、桔皮、凹坑、波紋等缺陷，但這些缺陷的檢測、分類依賴于設(shè)備的功能，并與檢測時的初始設(shè)置有關(guān)。
標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 19921-2005
標(biāo)準(zhǔn)名稱：硅拋光片表面顆粒測試方法
英文名稱：Test method of particles on silicon wafer surfaces
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢
發(fā)布日期：2005-09-19
實施日期：2006-04-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：冶金>>金屬化學(xué)分析方法>>H17半金屬及半導(dǎo)體材料分析方法
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：冶金>>金屬材料試驗>>77.040.01金屬材料試驗綜合
替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 19921-2018代替
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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